為什么移動精密平臺可廣泛應用于精密定位技術

添加時間：2016-6-30 8:02:00 作者：浙江金科機械傳動有限公司

移動精密平臺機構品種很多，因工作性質和用途不同，主要分成直線位移載物工作臺和回轉載物工作臺2類，有一維、二維或多維運動等，所謂的多維載物移動精密平臺實際都是在一維運動的基礎上復合而成。
（1）機械執行機構，是大行程的精密定位機械工作載物臺，經常采用滾珠絲桿/ 螺母傳動和滾動導軌，由步進電機或伺服電機驅動，代替了傳統的滑動絲桿副和導軌副，獲得高精度直線位移和定位度，這類產品的售價都很貴，精度均在微米量級，不足于直接達到納米量級定位精度。
（2）直線電機執行機構，載物工作臺直接由直線電機驅動，兩者連為一體，結構簡潔，避免了機械傳動系統，這在哈工大的精密定位機構的研制工作中已經獲得應用。
（3）壓電陶瓷馬達執行機構，是新型的精密載物工作臺，臺面的側面裝有鋁整流子，由壓電陶瓷馬達將其推動，使臺面沿著導軌實現納米級精度往復運動，特點是：行程無限，5 nm的高分辨率，速度范圍寬1μm/s～250mm/s。
（4）柔性鉸鏈機執行機構，柔性鉸鏈利用了彈性材料微小角變形及其自回復的特性，消除了傳動過程中的空程和機械摩擦，能獲得超高的位移分辨率，并有很緊湊的機械結構和很高的剛度，以及迅捷的響應。它由壓電陶瓷驅動，可以實現納米量級微運動，移動精密平臺目前廣泛應用于精密定位技術。為了克服壓電陶瓷驅動器伸長量較小的不足，通常采用杠桿放大機構增加移動精密平臺的位移輸出。